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藍寶石燒結馬弗爐1690℃工藝

更新時間:2025-08-20      瀏覽次數:108

藍寶石燒結馬弗爐是用于藍寶石晶體生長或燒結工藝的高溫設備,其設計需滿足藍寶石材料(氧化鋁,Al?O?)在高溫下的特殊需求,如高純度、無污染、控溫及均勻加熱等。以下是關于藍寶石燒結馬弗爐的詳細解析:


一、核心應用場景

藍寶石晶體生長

泡生法(Kyropoulos):將高純氧化鋁原料在馬弗爐中熔化,通過控制溫度梯度使晶體從熔體中緩慢生長,形成大尺寸藍寶石單晶(如2-8英寸晶棒)。

熱交換法(HEM):利用馬弗爐內的熱交換器控制晶體生長界面的溫度,實現高均勻性晶體生長,適用于光學級藍寶石襯底制備。

提拉法(Czochralski):通過旋轉提拉籽晶從熔體中生長晶體,馬弗爐需提供穩定的高溫環境(>2050℃)和的溫度控制。

藍寶石陶瓷燒結

將氧化鋁粉末壓制成型后,在馬弗爐中高溫燒結(1600℃~1800℃),使其致密化并形成高硬度、高透光率的藍寶石陶瓷,用于LED襯底、手表鏡面或光學窗口。

藍寶石退火處理

消除晶體生長或加工過程中產生的內應力,提高材料的光學性能和機械強度。退火溫度通常在1400℃~1600℃,需控制升溫/降溫速率(如≤5℃/min)。

二、設備關鍵技術要求

高溫性能

高溫度:需達到2100℃以上(氧化鋁熔點為2072℃),以覆蓋藍寶石晶體生長的全過程。

加熱元件:采用高熔點材料(如鉬Mo、鎢W或石墨),確保長期高溫下不揮發、不污染爐膛。

保溫結構:多層高純氧化鋁纖維或鋯英石磚保溫,減少熱量散失,降低能耗。

溫度控制精度

控溫系統:采用PID智能溫控儀,結合熱電偶(如B型或S型鉑銠合金)實時反饋溫度,控制精度±1℃。

溫度均勻性:爐膛內溫度差≤±5℃,避免晶體生長過程中因溫度梯度導致開裂或位錯。

氣氛控制

惰性氣體保護:通入高純氬氣(Ar)或氮氣(N?),防止氧化鋁在高溫下被碳或氫污染(如生成碳化鋁或氫氧化鋁)。

真空環境:部分工藝需在真空(<10?3 Pa)下進行,以進一步減少雜質摻入,提高晶體純度。

爐膛材料

內襯:采用高純氧化鋁陶瓷或銥(Ir)涂層,抵抗熔融氧化鋁的腐蝕。

觀察窗:配備雙層石英玻璃或藍寶石窗口,便于實時觀察晶體生長狀態,同時承受高溫高壓。



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